這一新技術,突破了傳統飛秒激光的光衍射極限,把光雕刻鈮酸鋰三維結構的尺寸,從傳統的1微米量級(相當于頭發絲的五十分之一),首次縮小到納米級,達到30納米,大大提高了加工精度。
這一重大發明,未來或可開辟光電芯片制造新賽道,有望用于光電調制器、聲學濾波器、非易失鐵電存儲器等關鍵光電器件芯片制備,在5G/6G通訊、光計算、人工智能等領域有廣泛的應用前景。